应用行业： /
联系人： 戴海涛
联系电话： 15620398753

主要技术指标:


蒸镀系统：极限真空：≤8×10-5Pa，30分钟内真空度可达≤6×10-4Pa。 8套有机源蒸发，2套挂丝式金属蒸发源。 手套箱：四工位手套箱，H2O<1ppm, O2<1ppm, 泄漏率：0.05Vol/h


服务领域:

物理、材料


主要功能:

小分子有机材料的热蒸发镀膜 无机材料的溅射镀膜 基片的等离子清洗


应用范围:

有机电致发光器件OLED结构蒸镀 有机太阳能电池（OPV） 有机薄膜晶体管（OTFT） 铝电极的蒸镀


年平均开机机时:

600