一种基于扫描电子显微镜的原位高温压痕测试系统

发布时间：2017年10月12日 分类：专利

摘要：本实用新型提供了一种基于扫描电子显微镜的原位高温压痕测试系统，包括扫描电子显微镜，高温压痕测试单元，控制单元以及计算机；高温压痕测试单元包括底座，设于底座上表面一侧的调节台，设于底座上表面另一侧的高温压痕机构；扫描电子显微镜包括电镜极靴，样品腔室，舱门，功能扩展接口，通讯接口以及光纤接口；调节台上设有样品台，X轴调节装置、Y轴调节装置，Z轴调节装置；高温压痕机构包括加热装置，设于底座上的压头座，以及设于压头座上的压头，压头位于电镜极靴下方。本实用新型将扫描电子显微镜与高温压痕测试单元有机的结合在一起，电子束扫描成像与高温压痕可以同时进行，互不干扰，实现真正意义上的原位温度场材料性力学能测试。

CN201620702634-一种基于扫描电子显微镜的原位高温压痕测试系统.pdf