摘要:一种磨削晶圆亚表面残余应力测试方法,属于残余应力测试领域。其步骤包括:提供磨削晶圆;高压水清洗晶圆;固定晶圆;确定腐蚀位置,进行腐蚀,清洗;分别利用白光干涉仪和激光拉曼光谱对腐蚀深度、残余应力进行测试;重复以上实验步骤即可获得磨削晶圆亚表面残余应力值。本发明操作简单、可较准确获得磨削晶圆亚表面残余应力,通过对测试结果分析,可提出磨削工艺优化方案。
CN201510420054-一种磨削晶圆亚表面残余应力测试方法.pdf
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