摘要:本发明公开了一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具。其包括支撑结构和调节结构;支撑结构由支脚、支脚平衡板、第一托起板、底部支撑台、第二托起板、顶部支撑台构成;调节结构由调节把手、滚珠轴承、调节卡垫、调节轴、调节齿轮、从动齿轮、转台轴、转台、连接螺柱、牵引脚、支撑螺柱、支撑柱、支撑球构成。通过转动调节把手,调节齿轮带动从动齿轮旋转,从而使转台旋转;转台驱动牵引脚旋转偏移,从而带动支撑柱沿着顶部支撑台的凹槽向里或向外移动。本发明可满足对不同尺寸磨削晶圆翘曲测量时的支撑与定位,配合晶圆翘曲设备可对不同尺寸磨削晶圆翘曲进行快速测量。本发明结构简单,操作方便,安全可靠。
CN201510420124-一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具.pdf
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