摘要:一种关于直线导轨直线度误差的快速测量及误差补偿方法,以期解决现有测量方法低、误差大且数据处理复杂等问题。本发明所述的方法通过激光干涉仪测量、采集直线导轨上若干数据点,通过XD激光测量系统中的直线度数据分析模块,对所采集点的数据进行直线度测量结果分析,即可得到导轨的直线度误差。对测量过程中的安装误差、环境误差、延时误差和被测物体热膨胀引起的误差等进行误差分析,建立误差修正模型,提出补偿方法。
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