一种基于透射电子显微镜观察激光诱导晶化纳米薄膜截面晶粒特征的样品制备方法

发布时间：2018年01月18日 分类：专利

摘要：本发明是一种基于透射电子显微镜观察激光诱导晶化纳米薄膜截面晶粒特征的样品制备方法。该方法步骤：1.运用磁控溅射手段在用于透射电子显微镜观察的基底上镀一层薄膜；2.将两片薄膜镀膜面相对贴合并固定，并剪断一部分；3.将剪断的薄膜用两块板状材料夹住，断面处在两块板状材料边缘的缝隙之中；4.断面用激光器进行单脉冲辐照；5.将其中一片薄膜平放在透射电子显微镜下进行观察，其断面边缘的晶化区域即为所要观察的激光辐照截面的晶粒生长形貌。该方法不通过镶样、磨试样，离子减薄等一系列复杂手段进行样品制备，流程时间大大缩短，污染非常小，且结果可信度较高。此方法对于揭示相变材料在厚度方向上的晶化行为的研究具有重大意义。

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